原理描述

采用硅片上经表面微加工的多晶硅结构，用多晶硅的弹性元件支撑并提供加速度平衡所需的阻力，结构偏转是通过有独立的固定极板和附加在移动物体上的中央极板组成的可变电容来测量的，固定极板通过方波的每π个相位来控制，加速度传感器受到加速度作用后改变了平衡，使输出信号的幅度与加速度成正比。

本加速度传感器是双轴电压输出型和PWM输出两用传感器，输出与加速度成正比的电压信号或者输出与加速度成正比的PWM信号。可以直接进行AD采样或者与微处理器连接。测量范围正负10g，在测量范围内有较高的精度，可以测量静态或者动态加速度，传感器内部集成了高精密电压源，工作电压范围宽，压铸铝或者塑料防水外壳可选，该加速度传感器将在惯性导航、地震监测、交通安全、运动测量、电力机械等领域得到广泛的应用。

三、传感器特点：

（1）X、Y双轴测量。

（2）宽量程、高精度

（3）低功耗，平均功耗小于15mA

(4) 可承受高达1000g加速度的冲击

（5）宽电压工作，或可定制DC5V、DC12V、DC24V、DC36V等。

（6）高防护等级，其中带耳压铸铝外壳防护等级IP67。

（7）传感器具有自测功能。在上电时可自动完成自测校准。

（8）电压输出和PWM输出两用。

（9）内部全密封灌胶，低温依赖性好。

四、技术参数